低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压到达气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包罗电子、种种离子、原子和自由基在内的混淆体。放电历程中固然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个别系出现低温状态，以是称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是使用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内产生剖析，并产生后续的种种反响以到达降解污染物的目标。
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